摘要：通過多晶硅行業(yè)的應(yīng)用實(shí)例分析介紹了羅斯蒙特一體化多參量調(diào)整型過熱蒸汽流量計(jì)的特點(diǎn)及使用效果。
1 多晶硅行業(yè)現(xiàn)狀
多晶硅行業(yè)是個(gè)新興且具有發(fā)展?jié)摿Φ漠a(chǎn)業(yè)，是硅產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)鏈中不可缺失的一環(huán)，其成品多晶硅更是制造硅拋光片、太陽(yáng)能電池及高純硅制品的主要原料，這是半導(dǎo)體和太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)的物質(zhì)基礎(chǔ)，也是信息產(chǎn)業(yè)和新能源產(chǎn)業(yè)*基礎(chǔ)的原材料。隨著高科技的不斷進(jìn)步、信息爆炸時(shí)代的來(lái)臨，**對(duì)于半導(dǎo)體硅的需求量劇增，而且對(duì)于硅芯片存儲(chǔ)容量呈指數(shù)級(jí)增長(zhǎng)要求，這就意味著純度更高的太陽(yáng)能級(jí)多晶硅的需求迫在眉睫、供不應(yīng)求。中國(guó)也在高科技、新能源產(chǎn)業(yè)上加大了扶持力度，趁勢(shì)涌現(xiàn)出一批萬(wàn)噸級(jí)多晶硅企業(yè)，如宜昌南玻、江蘇中能硅業(yè)、亞洲硅業(yè)、四川永祥等。大部分廠家均采用改良西門子法技術(shù)，即用氯和氫合成氯化氫，氯化氫和工業(yè)硅粉在一定的溫度下合成三氯氫硅，然后對(duì)三氯氫硅進(jìn)行分離精餾提純，提純后的三氯氫硅在氫還原爐內(nèi)進(jìn)行CVD反應(yīng)生產(chǎn)高純多晶硅。其工藝生產(chǎn)中涉及的主要裝置有：三氯氫硅合成、精餾、還原、氫化、尾氣回收、三廢處理等。
行業(yè)中涉及很多物料配比的流量測(cè)點(diǎn)，習(xí)慣上偏好使用科式質(zhì)量流量計(jì)，項(xiàng)目初期投資很大，加長(zhǎng)了投資回報(bào)周期。過程測(cè)量?jī)x表作為工藝生產(chǎn)過程中的潤(rùn)滑劑，關(guān)系到工藝流程的穩(wěn)定性、物料配比的精準(zhǔn)性，同時(shí)也與人員、設(shè)備的安全性息息相關(guān)。選擇適合的儀表不僅可以提升整個(gè)生產(chǎn)過程的自動(dòng)化程度，也可以幫助企業(yè)在確保安全生產(chǎn)的同時(shí)減少初期項(xiàng)目投資。
2 羅斯蒙特差壓原理的調(diào)整型過熱蒸汽流量計(jì)在多晶硅行業(yè)的應(yīng)用
2.1 還原裝置流量測(cè)量應(yīng)用
（1）關(guān)鍵應(yīng)用測(cè)點(diǎn):
氫氣流量精準(zhǔn)測(cè)量作為自然界中密度*小的氣體，在常溫下，氫氣的性質(zhì)很穩(wěn)定，但是條件改變時(shí)情況就不同了。為確保氫氣流量準(zhǔn)確安全的測(cè)量，通常要求在316不銹鋼管道中氫氣流速要控制在25m/s的安全流速以內(nèi)。作為還原劑，配比的精準(zhǔn)性直接影響到成品的合格率和品質(zhì)，因此工藝要求流量精度達(dá)到0.5%；現(xiàn)場(chǎng)配管一般為管徑DN50~DN100的316不銹鋼管道。
（2）解決方案
羅斯蒙特一體化的多參量調(diào)整型過熱蒸汽流量計(jì)3051SFCC（SMV）, 使用4個(gè)間隔均等的開孔消除漩渦和不規(guī)則流動(dòng)剖面，同時(shí)具備節(jié)流和整流的能力，在前后直管段滿足2D的情況下即可使得氫氣流速控制在安全流速范圍內(nèi)，保證了流體測(cè)量的安全性和準(zhǔn)確性。同時(shí)，多參量流量變送器3051SMV依據(jù)流體的伯努利方程 ，對(duì)影響流體的多達(dá)25個(gè)流量計(jì)算參數(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)的溫度壓力全補(bǔ)償，消除流體經(jīng)過孔板截流件時(shí)這些參數(shù)產(chǎn)生的誤差，確保了流量計(jì)全量程誤差與設(shè)計(jì)的單點(diǎn)誤差保持一致。流量測(cè)量精度高達(dá)0.5%，還確保了長(zhǎng)期測(cè)量的穩(wěn)定性，完全滿足工藝控制的需求。相較于傳統(tǒng)的質(zhì)量流量計(jì)測(cè)量，更加經(jīng)濟(jì)。
2.2 測(cè)量難點(diǎn)：公用工程全廠蒸汽平衡
傳統(tǒng)測(cè)量方案:不帶補(bǔ)償/部分補(bǔ)償渦街流量計(jì)或不帶補(bǔ)償/上位機(jī)部分補(bǔ)償?shù)牟顗菏搅髁坑?jì)，但這些方式普遍存在計(jì)量不準(zhǔn)確，蒸汽無(wú)法平衡的情況。究其根本原因：蒸汽并非液體，管線傳輸過程中，由于溫度或壓力的變化使得蒸汽自身的狀態(tài)發(fā)生了改變，因此，管線的上下游蒸汽流量測(cè)量值很難對(duì)上。另外，蒸汽長(zhǎng)管線傳輸過程中會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)，這也會(huì)影響部分渦街流量計(jì)的實(shí)際測(cè)量精度。羅斯蒙特多參量調(diào)整型過熱蒸汽流量計(jì)3051SFCC（SMV）方案就對(duì)癥下藥，有效地解決了這一難題。*先，多參量流量變送器3051SMV內(nèi)嵌**水蒸汽計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)IAPWS-IF97的計(jì)算模型，此計(jì)算模型符合**標(biāo)準(zhǔn)蒸汽熱值輸出標(biāo)準(zhǔn)，但計(jì)算精度遠(yuǎn)高于國(guó)內(nèi)流量計(jì)蒸汽測(cè)量遵循的IF-67公式模型；其次，3051SMV可實(shí)現(xiàn)對(duì)測(cè)量蒸汽進(jìn)行實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)的溫度壓力全補(bǔ)償，來(lái)消除或減少因?yàn)闇囟然驂毫ψ兓瘞?lái)的蒸汽能量損失，提高整個(gè)蒸汽能源計(jì)量的精度。*后3051SMV可輸出熱值。而這在蒸汽貿(mào)易結(jié)算中，熱值的交接更為公平和準(zhǔn)確，且整型過熱蒸汽流量計(jì)不受蒸汽振動(dòng)的影響而影響測(cè)量精度。
3 羅斯蒙特一體化多參量調(diào)整型過熱蒸汽流量計(jì)3051SFCC（SMV）的特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)
3051SFCC(SMV)是由羅斯蒙特*高端3051SMV多參量流量變送器和405C緊湊型調(diào)整孔板以及閥組一體化而成，該組合模式改變并革新了傳統(tǒng)的差壓流量測(cè)量技術(shù)。
3.1 一體化成形出廠的意義
變送器、閥組與流量測(cè)量元件由同一個(gè)廠家生產(chǎn)并一體化組裝。出廠前即完成了整體的壓力、密封測(cè)試，可以降低現(xiàn)場(chǎng)出現(xiàn)泄漏的幾率，且出廠前的整體流量標(biāo)定也可以確保流量計(jì)的系統(tǒng)精度。貨到現(xiàn)場(chǎng)后，直接法蘭夾持安裝，無(wú)需考慮引壓管，減少了因引壓管帶來(lái)的泄露風(fēng)險(xiǎn)和系統(tǒng)流量精度誤差。即便流量計(jì)真有故障了，也可以直接找到廠家來(lái)處理，避免了責(zé)任分?jǐn)偛磺宓膯栴}。
3.2 3051SMV多參量流量變送器的優(yōu)點(diǎn)
（1）一臺(tái)表可同時(shí)測(cè)量并計(jì)算六個(gè)流量相關(guān)的變量: 差壓、壓力、溫度、質(zhì)量/體積流量、熱量流量，可實(shí)現(xiàn)累計(jì)器功能，功能高度集中。
（2）內(nèi)嵌**水蒸汽計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)IAPWS-IF97的數(shù)學(xué)計(jì)算模型，確保蒸汽測(cè)量的高精度。實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)補(bǔ)償多達(dá)25個(gè)流體變量參數(shù)，提高流量測(cè)量精度。
（3）變送器*高精度可達(dá)到讀數(shù)的0.04%，流量量程比可達(dá)14:1。 可提供15年穩(wěn)定性的保證。
3.3 調(diào)整型孔板的優(yōu)點(diǎn)
調(diào)整型孔板基于ISO5167計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)，開等面積的四孔。該設(shè)計(jì)平衡度好，可以消除漩渦和不規(guī)則流動(dòng)剖面，同時(shí)具備節(jié)流和整流的能力。對(duì)于安裝，只需要滿足前后2D的直管段即可確保現(xiàn)場(chǎng)流量測(cè)量的準(zhǔn)確性，這樣的流量計(jì)幾乎可以安裝在工廠任何的地方，也使得現(xiàn)場(chǎng)新增流量測(cè)點(diǎn)變得簡(jiǎn)單易行。配備了3051SMV變送器的一體化調(diào)整型過熱蒸汽流量計(jì)的測(cè)量精度更高，可達(dá)±0.5%。
3.4 安裝調(diào)試校驗(yàn)的便利
羅斯蒙特一體化整型過熱蒸汽流量計(jì)現(xiàn)場(chǎng)安裝不需要額外考慮引壓管。到現(xiàn)場(chǎng)后只需要通過法蘭夾持安裝即可，簡(jiǎn)單容易操作。安裝完成后通知廠家來(lái)服務(wù)調(diào)試即可，大大減少了現(xiàn)場(chǎng)的安裝調(diào)試工作量。羅斯蒙特流量計(jì)非常穩(wěn)定可靠，基本不需要進(jìn)行維護(hù)。每年流量計(jì)標(biāo)定的時(shí)候，只需要送檢變送器即可，非常方便。
４ 結(jié)語(yǔ)
羅斯蒙特多參量調(diào)整型過熱蒸汽流量計(jì)在多晶硅行業(yè)成功實(shí)現(xiàn)了還原裝置氫氣及公用工程蒸汽的流量測(cè)量。無(wú)論是重要測(cè)量還是疑難測(cè)點(diǎn)，其優(yōu)異的性能完全滿足了工藝測(cè)量的需求。流量計(jì)除了在定期的停工檢修中, 做簡(jiǎn)單的檢查外, 沒有出現(xiàn)過任何問題。其可靠度與免維護(hù)性也得到了現(xiàn)場(chǎng)儀表工程師的肯定，在**各多晶硅企業(yè)均有成功應(yīng)用。